薄膜膜厚計

マルチチャンネル型薄膜膜厚計　Quoreシリーズ

MSPA1100

・マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定
・FFT測定は3層膜まで測定可能
・ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー
・コンパクト設計、低価格
・分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由

仕様

型式	MSPA1100
投受光	ファイバー方式による垂直投受光
分光器	分光方法：平面グレーティング 焦点距離：50mm
受光素子	フォトダイオードアレイ 素子数：256ch 素子サイズ：50μm×2.5mm 感度波長域：250nm～1100nm
計測波長域	250nm～1100nm
光ファイバー	石英製Y型光ファイバーケーブル
インターフェイス	USB
転送時間	約300msec
演算	膜厚計測ソフト 計測内容：分光スペクトル・膜厚値 演算内容：カーブフィティング演算・FFT演算
計測	膜厚：0.06μm×15μm 計測時間：約0.1秒～3秒
寸法	分光部：220mm（幅）×90mm（高さ）×280mm（奥行） 光源部：75mm（幅）×120mm（高さ）×240mm（奥行）

※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。

MSPA1000

・マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定
・FFT測定は3層膜まで測定可能
・ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー
・コンパクト設計、低価格
・分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由

仕様

型式	MSPA1000
光源	白色LED
投受光	ファイバー方式による垂直投受光
分光器	分光方法：平面グレーティング 焦点距離：50mm
受光素子	CCDラインセンサー 素子数：2048 素子サイズ：14μm×14μm 感度波長域：360nm～830nm
計測波長域	380nm～780nm
光ファイバー	石英製Y型光ファイバーケーブル
インターフェイス	USB
転送時間	約300msec
演算	膜厚計測ソフト 計測内容：分光スペクトル・膜厚値 演算内容：カーブフィティング演算・FFT演算
計測	膜厚：0.15μm×100μm 計測時間：約0.1秒～3秒
寸法	170mm（幅）×70mm（高さ）×235mm（奥行）

※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。

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