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マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定
FFT測定は3層膜まで測定可能
ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー
コンパクト設計、低価格
分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由
光源 |
ハロゲンランプ |
---|---|
投受光 |
ファイバー方式による垂直投受光 |
分光器 |
分光方法:平面グレーティング |
受光素子 |
フォトダイオードアレイ |
計測波長域 |
250nm~1100nm |
光ファイバー |
石英製Y型光ファイバーケーブル |
インターフェイス |
USB |
転送時間 |
約300msec |
演算 |
膜厚計測ソフト |
計測 |
膜厚:0.06μm×15μm |
寸法 |
分光部:220mm(幅)×90mm(高さ)×280mm(奥行) |
※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。
マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定
FFT測定は3層膜まで測定可能
ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー
コンパクト設計、低価格
分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由
光源 |
白色LED |
---|---|
投受光 |
ファイバー方式による垂直投受光 |
分光器 |
分光方法:平面グレーティング |
受光素子 |
CCDラインセンサー |
計測波長域 |
380nm~780nm |
光ファイバー |
石英製Y型光ファイバーケーブル |
インターフェイス |
USB |
転送時間 |
約300msec |
演算 |
膜厚計測ソフト |
計測 |
膜厚:0.15μm×100μm |
寸法 |
170mm(幅)×70mm(高さ)×235mm(奥行) |
※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。