事業内容

薄膜膜厚計

マルチチャンネル型薄膜膜厚計
Quoreシリーズ

薄網膜厚計

MSPA1100

  • マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定

  • FFT測定は3層膜まで測定可能

  • ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー

  • コンパクト設計、低価格

  • 分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由

【仕様】

光源

ハロゲンランプ

投受光

ファイバー方式による垂直投受光

分光器

分光方法：平面グレーティング
焦点距離：50mm

受光素子

フォトダイオードアレイ
素子数：256ch
素子サイズ：50μm×2.5mm
感度波長域：250nm～1100nm

計測波長域

250nm～1100nm

光ファイバー

石英製Y型光ファイバーケーブル

インターフェイス

USB

転送時間

約300msec

演算

膜厚計測ソフト
計測内容：分光スペクトル・膜厚値
演算内容：カーブフィティング演算・FFT演算

計測

膜厚：0.06μm×15μm
計測時間：約0.1秒～3秒

寸法

分光部：220mm（幅）×90mm（高さ）×280mm（奥行）
光源部：75mm（幅）×120mm（高さ）×240mm（奥行）

※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。

MSPA1000

  • マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定

  • FFT測定は3層膜まで測定可能

  • ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー

  • コンパクト設計、低価格

  • 分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由

【仕様】

光源

白色LED

投受光

ファイバー方式による垂直投受光

分光器

分光方法：平面グレーティング
焦点距離：50mm

受光素子

CCDラインセンサー
素子数：2048
素子サイズ：14μm×14μm
感度波長域：360nm～830nm

計測波長域

380nm～780nm

光ファイバー

石英製Y型光ファイバーケーブル

インターフェイス

USB

転送時間

約300msec

演算

膜厚計測ソフト
計測内容：分光スペクトル・膜厚値
演算内容：カーブフィティング演算・FFT演算

計測

膜厚：0.15μm×100μm
計測時間：約0.1秒～3秒

寸法

170mm（幅）×70mm（高さ）×235mm（奥行）

※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。

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