薄膜膜厚計
Quoreシリーズ
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マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定
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FFT測定は3層膜まで測定可能
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ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー
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コンパクト設計、低価格
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分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由
仕様
| 光源 | ハロゲンランプ |
|---|---|
| 投受光 | ファイバー方式による垂直投受光 |
| 分光器 | 分光方法：平面グレーティング |
| 受光素子 | フォトダイオードアレイ |
| 計測波長域 | 250nm～1100nm |
| 光ファイバー | 石英製Y型光ファイバーケーブル |
| インターフェイス | USB |
| 転送時間 | 約300msec |
| 演算 | 膜厚計測ソフト |
| 計測 | 膜厚：0.06μm×15μm |
| 寸法 | 分光部：220mm（幅）×90mm（高さ）×280mm（奥行） |
※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。
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マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定
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FFT測定は3層膜まで測定可能
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ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー
-
コンパクト設計、低価格
-
分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由
仕様
| 光源 | 白色LED |
|---|---|
| 投受光 | ファイバー方式による垂直投受光 |
| 分光器 | 分光方法：平面グレーティング |
| 受光素子 | CCDラインセンサー |
| 計測波長域 | 380nm～780nm |
| 光ファイバー | 石英製Y型光ファイバーケーブル |
| インターフェイス | USB |
| 転送時間 | 約300msec |
| 演算 | 膜厚計測ソフト |
| 計測 | 膜厚：0.15μm×100μm |
| 寸法 | 170mm（幅）×70mm（高さ）×235mm（奥行） |
※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。