事業内容

薄膜膜厚計

マルチチャンネル型薄膜膜厚計
Quoreシリーズ

薄網膜厚計

MSPA1100

  • マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定

  • FFT測定は3層膜まで測定可能

  • ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー

  • コンパクト設計、低価格

  • 分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由


【仕様】

光源

ハロゲンランプ

投受光

ファイバー方式による垂直投受光

分光器

分光方法:平面グレーティング
焦点距離:50mm

受光素子

フォトダイオードアレイ
素子数:256ch
素子サイズ:50μm×2.5mm
感度波長域:250nm~1100nm

計測波長域

250nm~1100nm

光ファイバー

石英製Y型光ファイバーケーブル

インターフェイス

USB

転送時間

約300msec

演算

膜厚計測ソフト
計測内容:分光スペクトル・膜厚値
演算内容:カーブフィティング演算・FFT演算

計測

膜厚:0.06μm×15μm
計測時間:約0.1秒~3秒

寸法

分光部:220mm(幅)×90mm(高さ)×280mm(奥行)
光源部:75mm(幅)×120mm(高さ)×240mm(奥行)

※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。

MSPA1000

  • マルチチャンネル型、光の反射により簡単、高精度に測定

  • FFT測定は3層膜まで測定可能

  • ハロゲンランプ使用により広範囲波長域をカバー

  • コンパクト設計、低価格

  • 分光系駆動部を持たないため、振動に強く、持ち運び自由


【仕様】

光源

白色LED

投受光

ファイバー方式による垂直投受光

分光器

分光方法:平面グレーティング
焦点距離:50mm

受光素子

CCDラインセンサー
素子数:2048
素子サイズ:14μm×14μm
感度波長域:360nm~830nm

計測波長域

380nm~780nm

光ファイバー

石英製Y型光ファイバーケーブル

インターフェイス

USB

転送時間

約300msec

演算

膜厚計測ソフト
計測内容:分光スペクトル・膜厚値
演算内容:カーブフィティング演算・FFT演算

計測

膜厚:0.15μm×100μm
計測時間:約0.1秒~3秒

寸法

170mm(幅)×70mm(高さ)×235mm(奥行)

※本機のデザイン・仕様は予告なく変更する場合があります。

お問い合わせ窓口
窓口
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住所
〒101-0054 東京都千代田区神田錦町三丁目18番地マミヤビルディング
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